Разновидностями радиационно-пучковых технологий являются импульсно-периодическое сочетание ионного и плазменного режима. Такой метод позволяет осуществлять распыление для очистки поверхности, для улучшения адгезии имплантации, помогает формировать покрытия с ионно-асссистированным осаждением слоев в режиме ионного перемешивания. Не менее интересным является способ сочетания электронного, лазерного и плазменного потоков с целью очистки поверхности и испарения атомов с ионной бомбардировкой осаждаемого покрытия или для жидкофазного легирования.
Высокоэнергетические технологии обработки металла имеют ряд преимуществ в сравнении с обычными традиционными технологиями. Они обладают более высокой эффективностью и экологической чистотой, их отличает меньшая энергоемкость.
В процессе обработки материала путем радиационно-пучковых технологий происходит целый ряд физических процессов : ионы имплантируются в материал, в поверхностном слое происходит осаждение и ионное перемешивание атомов, атомы поверхностного слоя распыляются или испаряются, на поверхности мишени происходит плазмообразование, в слое материала – дефектообразование и др.
